传统相移干涉测量要求精确控制相位偏移,如果相移量偏离理论值,则会导致相位计算产生错误,从而影响测量精度。针对此问题, 本研究提出一种基于类牛顿环与三步非定步长相移的方法,实现三维形貌的测量。该方法通过调节入射光波长调制相位偏移,能够直接避免机 械相移所带来的振动干扰与步长标定误差。通过 MATLAB 程序仿真,验证了该方法在物体三维形貌恢复方面具有可行性与有效性。 关键词:类牛顿环;变波长调制;非定步长相移;形貌恢复
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